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某光刻机巨头的高精度定位方案

半导体设备

某光刻机巨头的高精度定位方案

面临挑战

需要在纳米级精度下保持极高的运动稳定性。

解决方案

采用THK SHS系列超高刚性导轨配合精密预压滑块。

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沪ICP备2024053465号-2