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THK直线导轨在半导体晶圆搬运设备中的关键作用

THK直线导轨在半导体晶圆搬运设备中的关键作用

2026-06-15

半导体制造对运动系统的洁净度、精度和稳定性要求极高。THK直线导轨凭借低发尘、高定位精度的特性,成为晶圆搬运设备、贴片机、检测设备的核心运动组件。

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